חיישן לחץ פייזוריסטי
מד מתח התנגדות הוא אחד המרכיבים העיקריים של חיישן מתח piezoresistive. עקרון העבודה של מד מתח התנגדות מתכת מבוסס על התופעה שההתנגדות של מד המתח הנספג על המצע משתנה עם עיוות מכני, הידוע בכינויו אפקט המתח ההתנגדות.
חיישן לחץ קרמי
חיישן לחץ קרמי מבוסס על אפקט piezoresistive. לחץ פועל ישירות על המשטח הקדמי של דיאפרגמה קרמית, וגורם לעיוות קל. נגד סרט עבה- מודפס על גב הדיאפרגמה הקרמית, ויוצר גשר Wheatstone. בשל האפקט הפייזוריסטי של הנגד הפייזוריסטי, הגשר מייצר אות מתח ליניארי מאוד שהוא פרופורציונלי ללחץ וגם פרופורציונלי למתח העירור. האותות הסטנדרטיים מכוילים ל-2.0/3.0/3.3 mV/V וכו', בהתאם לטווח הלחץ, והם תואמים לחיישני מד מתח.
חיישן לחץ סיליקון מפוזר
עקרון העבודה של חיישן לחץ סיליקון מפוזר מבוסס גם על האפקט ה-piezoresistive. תוך שימוש בעקרון זה, הלחץ של המדיום הנמדד פועל ישירות על הסרעפת של החיישן (נירוסטה או קרמיקה), וגורם למיקרו-תזוזה של הסרעפת פרופורציונלית ללחץ הבינוני. זה גורם לשינוי בהתנגדות החיישן. מעגלים אלקטרוניים מזהים שינוי זה ומוציאים אות מדידה סטנדרטי המתאים לאותו לחץ.
חיישן לחץ ספיר
תוך שימוש בעקרון מד המתח, חיישן זה משתמש בסיליקון-ספיר כאלמנט החישה של המוליך למחצה, בעל מאפיינים מטרולוגיים שאין שני להם. לכן, רכיבי חישה מוליכים למחצה העשויים מסיליקון-ספיר אינם רגישים לשינויי טמפרטורה ומציגים מאפייני פעולה מצוינים גם בטמפרטורות גבוהות; לספיר עמידות חזקה לקרינה; יתר על כן, לרכיבי חישה של מוליכים למחצה סיליקון-ספיר אין סחיפה של-n.
חיישן לחץ פיזואלקטרי
האפקט הפיאזואלקטרי הוא עקרון העבודה העיקרי של חיישנים פיזואלקטריים. לא ניתן להשתמש בחיישנים פיזואלקטריים למדידות סטטיות מכיוון שהמטען לאחר הפעלת כוח חיצוני נשמר רק כאשר למעגל יש עכבת כניסה אינסופית. מכיוון שזה לא המקרה במציאות, חיישנים פיזואלקטריים יכולים למדוד מתח דינמי בלבד.